プロトンビーム描画による導波路型光スイッチの試作(光-無線融合NW、新周波数(波長)帯デバイス、フォトニックNW・デバイス、フォトニック結晶、ファイバとその応用、光集積回路、光導波路素子、光スイッチング、導波路解析、一般)

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概要

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• 量子ビーム技術を利用したプロトンビーム描画(Proton Beam Writing:PBW)は,次世代微細加工技術として期待されているが,プロトン照射によるポリマー材料の屈折率向上効果を応用した光導波路直接描画技術としても有望である.我々は,このPBW技術を利用してマッハツェンダー導波路型熱光学スイッチの試作を行い,スイッチング動作を確認したので報告する.

• 一般社団法人電子情報通信学会の論文
• 2014-01-16

著者

• 佐藤 隆博

  日本原子力研究所 高崎研究所

• 石井 保行

  日本原子力研究開発機構

• 江夏 昌志

  日本原子力研究開発機構

• 横山 彰人

  日本原子力研究開発機構

• 神谷 富裕

  日本原子力研究所

• 桐生 弘武

  群馬大学大学院工学研究科

• 三浦 健太

  群馬大学理工学研究院

• 平谷 雄二

  広島国際大学工学部

• 花泉 修

  群馬大学理工学研究院

• 加田 渉

  群馬大学理工学研究院

• 小澤 優介

  群馬大学大学院工学研究科

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