J054061 広帯域MEMS人工基底膜の振動特性([J05406]マイクロ・ナノスケールの熱流体現象(6))
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概要
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In this paper, we report vibration characteristics of a micro beam array for a novel acoustic sensor with wide-range frequency selectivity. Micro beams which have different dimensions in the length and the thickness were fabricated by single lithography using a gray-scale mask and a negative photoresist. The vibration characteristics in air were investigated by applying sound to the micro beams. The measurement result appeared that the vibration of micro beams is dominated by bending one and the amplitude increases at the resonant frequency of the first mode.
- 2011-09-11
著者
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