MP-55 マイクロ熱電式ガスセンサの高感度化(ポスターセッション)
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概要
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The hydrogen sensing performance of the thermoelectric gas sensor has been reported for the analysis to several hundreds ppm H_2 in human breath. The sensor is a micro calorimeter converting the heat of gas combustion at catalyst into thermoelectric voltage, and it is necessary to suppress the noise from thermal fluctuation such as air flow. We have analyzed the thermal flux balance and fluctuation in the device. The noise level of the device has been reduced by introducing dummy film pattern thermally equevalent to the thick film catalyst.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-09-25
著者
-
伊豆 典哉
(独)産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
-
申 宇爽
産業技術総合研究所シナジーマテリアル研究センター
-
申 ウソク
産総研シナジーマテリアル
-
伊豆 典哉
産総研シナジーマテリアル
-
伊藤 敏雄
National Inst. Of Advanced Industrial Sci. And Technol. (aist)
-
申 ウソク
National Inst. Of Advanced Industrial Sci. And Technol. (aist)
-
Shin Woosuck
National Inst. Of Advanced Industrial Sci. And Technol. (aist)
-
伊藤 敏雄
産総研
-
永井 大資
産総研
-
中嶋 隆臣
産総研
-
西堀 麻衣子
産総研
-
申 ウソク
産総研
-
伊豆 典哉
産総研
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