1-2 2光子マイクロ光造形を用いた金属化マイクロ可動部品の作製法の提案と実証 : ポリマー立体構造の無電解メッキとレーザーアブレーションによるリリース(OS2-1 三次元の微細形状創成技術)
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概要
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In this study, we propose a method to fabricate three-dimensional (3D) metallic movable microparts by the combination of electroless plating and laser ablation. In this method, a polymeric movable microparts with anchors made by two-photon microfabrication are metalized by electroless plating, and then the anchors are removed by laser ablation using a femtosecond plused laser. As a result, a metalized freely movable micropart restricted to a shaft can be produced. We succeeded in fabricating sophisticated 3-D microrotors by optimizing the experimental conditions of both electroless copper plating and laser ablation.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-09-25
著者
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