常識となっていないシース現象
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
多くの教科書は詳しく触れていないが,基本的と考えられる,プラズマ-壁境界領域の構造に関する2つの主題を取り上げる.正イオンと電子よりなる低圧プラズマが壁と接するとき,壁へ向かうイオンのドリフト速度がボーム速度に達する点と,壁直近の電子がほとんど存在しないイオンシース層の間には厚い遷移層が存在する.遷移層とイオンシース層の厚さは異なるスケーリング則に従う.これらの厚さや関連する物理量が圧力(イオンの平均自由行程)とともにどのように変化するかについて論じる.もう1つの主題は負イオンを含むプラズマが壁と接するときにできるシースの構造に関するものである.シース端での負イオン密度と電子密度の比αの大きさにより,3通りの大きく異なる構造が現れる.αのある範囲では,シース領域に不安定性が生ずることを理論的に示す.
- 2013-08-25
著者
関連論文
- 3.RFトラップ中のレーザー冷却プラズマ(極低温環境下でのプラズマ研究の新展開)
- 人材育成・男女共同参画委員会, 刊行委員会, JJAP編集運営委員会共同企画シンポジウム : 「学会における若手人材育成-応物があなたのキャリアデザインを応援します-」報告
- 25pB02 アルゴンをプローブ粒子としたレーザー誘起蛍光減光法による超高感度電界計測(プラズマ基礎・応用I)
- ECR C_4F_8プラズマにおけるCFxラジカル絶対密度の空間分布の計測とその分布形成機構
- CFxラジカル絶対密度のIRLAS空間分布測定
- 微弱スぺクトルの高S/N比計測のための高効率2次元光子計数処理
- CARSによるArFエキシマレーザー放電中のF_2密度測定
- 放電励起ArFレーザプラズマ中の電子密度計測
- 4. 負イオンの生成および消滅過程 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
- 4. マイクロプラズマの応用(ミクロ反応場の生成と応用-マイクロプラズマ研究の現状と将来展望-)
- 6.マイクロ放電光源を用いたプラズマ吸収分光計測(マイクロプラズマ : 基礎から応用まで)
- 鏡間に誘電体板が挿入されたファブリーペロー共振器の共振特性
- RF SiH4/SiH2Cl2混合ガスプラズマの電子密度及びラジカル計測
- 2a-TB-3 変分法によるHeのエネルギー準位計算における収束の加速
- RF SiH_4プラズマ中の電子密度・温度に対する希釈ガスXe, Ar, He, H_2の効果
- 「電気関係学会東海支部連合大会」特集号によせて
- プロセスプラズマ中の負イオン
- レーザー光脱離法によるプロセスプラズマ中の負イオン密度計測
- 光脱離による負イオンの計測
- 24aGB-9 イオントラップ中の強結合プラズマのクーロン遮蔽(24aGB ミューオン・ビーム冷却・イオントラップ,ビーム物理領域)
- 27pGB-11 レーザープラズマ加速における小直径プラズマチャンネルのレーザートムソン散乱によるプラズマ密度測定(27pGB 超高強度レーザー・レーザープラズマ加速・THz発生,ビーム物理領域)
- 18pFJ-5 レーザープラズマ加速のためのRFを用いたプラズマウェーブガイドの密度計測(18pFJ プラズマ科学(ビーム・高強度レーザー),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 常識となっていないシース現象