フェーズドアレイシステムを用いた高精細フラットパネル配線の非接触検査手法(ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム)
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概要
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フラットパネルの画質は近年飛躍的な進歩を遂げ,4k,8kといった超高精細モデルも現実的なものとなりつつある.一方で,それらを安定して生産するための製造歩留まり確保にはまだ多くの課題を残している.製造歩留まりを改善する方法としては,中間工程で早期に欠陥を見つけだしそれらを修復することで正常品へと復活させるリペアシステムが運用されているが,高精細パネル内の欠陥については安定した欠陥検出手法がなく,検出できなかった欠陥は最終検査で検出されパネルそのものが破棄されることとなる.本稿では,高精細パネルにおける配線の断線,短絡などの電気的欠陥に着目し,フェーズドアレイの原理を利用した非接触検査手法を提案するとともに,その有用性について実験データをもとに述べる.
- 2013-03-08
著者
-
加藤 浩介
広島工業大学情報学部
-
片桐 英樹
広島大学大学院工学研究科
-
片桐 英樹
広島大学大学院 工学研究科
-
片桐 英樹
広島大学大学院工学研究院
-
加藤 浩介
広島工業大学大学院工学系研究科
-
羽森 寛
オー・エイチ・ティー株式会社
-
加藤 浩介
広島工業大学
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