L1_0-FePtRh強磁性-反強磁性パターンの形状評価と磁気特性(ハードディスクドライブ,一般)
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概要
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現在様々なドットパターン作製法が検討されているが,エッチングによるドットの加工ダメージや,それに伴う表面酸化層の形成,理戻し/表面研磨による結晶歪みの導入などの課題がある.そこで本研究では,原理的にダメージ相の生じない新規なパターニング法を開発することを考えた.[001]垂直配向したL1_0-FePtRh薄膜では,強磁性(FM)相と反強磁性(AF)相が1 at%以内の組成変化で急峻に変化する.この変化を用いれば,例えばFePtRh連続膜上に第三元素をナノスケールで部分的に配置し,それを拡散させて組成を局所的に制御することで,FM相とAF相からなるドットパターンを形成できると考えた.この場合には,最終的な形状的加工と理戻し/表面研磨の工程が必要無いことから,ドットには加工ダメージが原理的に存在しないことが期待される.本論文では,この効果を用いて実際にナノドット配列パターンを作製し,さらに形状分散と磁気特性のバラツキとの関連性について議論する.
- 2011-11-11
著者
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長谷川 崇
秋田大学
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石尾 俊二
秋田大学
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長谷川 崇
秋田大学大学院工学資源学研究科材料工学専攻
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石尾 俊二
秋田大学大学院工学資源学研究科材料工学専攻
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石尾 俊二
秋田大学大学院工学資源学研究科
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長谷川 崇
秋田大学大学院工学資源学研究科
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