T0301-2-5 マイクロ波AFMプローブの構造改良による電気的特性の計測感度の向上([T0301-2]金属ナノ材料の創製と展開(2))
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概要
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To confirm the sensitivity in the measurement of electrical properties affected by the nano structure of microwave AFM (M-AFM) probe, three kinds of M-AFM probe with a nano slit on its tip in different width (75nm, 120nm and 160nm) were investigated. Au and glass samples were measured by the probes working at a noncontact AFM mode. The M-AFM probe with the nano slit having the width of 75nm, by which the difference of the measured voltage between Au and glass samples is 55.1mV, shows the highest sensitivity for detecting electrical properties of materials. As the result illustrated, the M-AFM probe with smaller width nano slit on the tip is considered to be an ideal nano structure.
- 2010-09-04
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