コリメータスパッタリングによる結晶配向制御の基礎検討(信号処理及び一般)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
傾斜異方性磁気記録媒体の作製を目指して,コリメータスパッタリングによる薄膜の結晶配向制御の基礎検討を行った.Co-Cr合金膜やRu膜ではhcp軸の膜面垂直配向について,コリメータによる配向促進効果を確認できた.しかし、斜方堆積では,コリメータ軸を45度まで傾斜させても,配向軸の傾きは2度以下の僅かな値しか得られなかった.斜め配向膜の作製にはスパッタ堆積機構についての詳細な検討が必要である.
- 2010-12-02
著者
関連論文
- 弱傾斜異方性ビットパターン媒体の記録特性におよぼす異方性傾斜方向の影響(記録システムおよび一般)
- ビットパターン媒体用1Tbit/in^2級Co-Ptドットアレイの作製(ヘッド・媒体および一般)
- ビットパターン媒体用1Tbit/in^2級Co-Ptドットアレイの作製(ヘッド・媒体及び一般)
- 低エネルギーイオンエッチングを用いたビットパターン媒体用1Tdot/in2級 Co-Ptドットアレイの作製
- 1Tbit/in^2級微細磁性ドットアレイの形状が磁気特性、記録特性に及ぼす影響(ハードディスクドライブおよび一般)
- 1Tbit/in^2級微細磁性ドットアレイの形状が磁気特性、記録特性に及ぼす影響(ハードディスクドライブ及び一般)
- 垂直磁気記録方式におけるトラックエッジノイズの評価法
- 弱傾斜異方性ビットパターン媒体とシールドプレーナーヘッドを用いた高密度記録のシミュレーション検討(記録システムおよび一般)
- 弱傾斜異方性ビットパターン媒体とシールドプレーナーヘッドを用いた高密度記録のシミュレーション検討(記録システム及び一般)
- 垂直磁気記録媒体用Co-Pt-TiO_2グラニュラ膜への熱処理による磁気特性・記録再生特性の改善(ハードディスクドライブおよび一般)
- 垂直磁気記録媒体用Co-Pt-TiO_2グラニュラ膜への熱処理による磁気特性・記録再生特性の改善(ハードディスクドライブ及び一般)
- C-7-12 傾斜異方性ビットパターンドメディアの記録特性への配向分散の影響(C-7.磁気記録・情報ストレージ,一般セッション)
- ビットパターン媒体での5 Tbit/in^2記録のシミュレーション検討(記録システムおよび一般)
- ビットパターン媒体での5Tbit/in^2記録のシミュレーション検討(記録システム及び一般)
- 技術の面白さが見えない
- 傾斜異方性ビットパターン媒体におけるスイッチング磁界分散低減機構の解析(信号処理および一般)
- コリメータスパッタリングによる結晶配向制御の基礎検討 (マルチメディアストレージ)
- C-7-5 コリメータスパッタリングによる磁性薄膜の配向制御(C-7.磁気記録・情報ストレージ,一般セッション)
- CS-5-6 傾斜異方性ビットパターン媒体の傾斜方向の検討(CS-5.高密度記録技術の最新事情,シンポジウムセッション)
- ビットパターン媒体のためのナノ磁性ドットの作製と磁気特性評価
- CS-3-1 多層交換結合複合粒子の磁化反転磁界の解析(CS-3.情報ストレージのための最新要素技術と動向,シンポジウムセッション)
- C-7-1 コリメータ斜方スパッタ堆積による傾斜配向膜の作製(C-7.磁気記録・情報ストレージ,一般セッション)
- コリメータスパッタリングによる結晶配向制御の基礎検討(信号処理及び一般)
- 傾斜異方性ビットパターン媒体におけるスイッチング磁界分散低減機構の解析(信号処理及び一般)
- ビットパターン媒体の課題と将来展望
- コリメータスパッタ堆積膜の結晶配向制御 (マルチメディアストレージ)
- CS-4-4 多層交換結合複合粒子の磁化反転の解析(CS-4.現在および将来における情報ストレージ技術の要素技術,シンポジウムセッション)
- C-7-10 コリメータ斜方スパッタ堆積と下地膜のアニールによる傾斜配向膜の作製(C-7.磁気記録・情報ストレージ,一般セッション)
- 多層交換結合複合粒子の磁化反転の解析(信号処理,一般)
- コリメータスパッタ堆積膜の結晶配向制御(信号処理,一般)
- コリメータスパッタによる傾斜異方性膜の作製 (磁気記録・情報ストレージ)
- コリメータスパッタによる傾斜異方性膜の作製 (マルチメディアストレージ)
- 多層交換結合複合粒子の磁化反転の解析
- コリメータスパッタ堆積膜の結晶配向制御
- ビットパターン媒体での5 Tbit/in^2記録のシミュレーション検討
- コリメータスパッタリングによる傾斜異方性膜の作製(信号処理,一般)