マイクロ波励起表面波プラズマ半導体処理装置の数値解析コードにおけるプラズマ電子密度分布の計算も含めた解析スキームの検討(<特集>第19回MAGDAコンファレンス)

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概要

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• 2011-06-10

著者

• 川口 秀樹

  室蘭工業大学

• 鏡 愼

  室蘭工業大学

• 畑口 雅人

  旭川工業高等専門学校

• 西川 崇之

  沖電気工業(株)

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