液相析出法(Liquid Phase Deposition;LPD法)による水溶液からの機能性酸化物の調製と形状規制(<特集>材料物性から見たフッ化物・酸化物単結晶の育成技術)

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概要

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金属フッ化物錯体の水溶液内平衡反応による液相析出法を用いて,金属酸化物薄膜の合成を行ってきた.液相析出反応過程における成長は微小なエネルギー差を有する系内の界面上で進行する.形成した金属酸化物薄膜は優れた基板形状追随性を有し,非常に多くの種類の薄膜を形成することが可能である.その結果,ナノオーダの間隙を有する複雑な形状の基板をテンプレートとして,高次構造を有するセラミックス薄膜を調製することが可能となった.この方法は液相充填法と呼ばれる.また,平滑基板のみならず,逆相ミセル中での析出により,数nmの金属ナノ粒子を生成しうることが明らかとなった.
日本結晶成長学会の論文
2006-09-30

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