13pSM-6 X線自由電子レーザー実験用マルチポートCCDの開発II(13pSM 素粒子実験領域,宇宙線・宇宙物理領域,実験核物理領域,ビーム物理領域合同 三次元LSI・飛跡検出器・γ/X線検出器・半導体検出器,素粒子実験領域)

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