G1601-1-3 光熱効果を用いたマイクロディスク型ジャイロセンサの提案(センサ・アクチュエータ)
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概要
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The photothermal effect can be used to generate driving force from thermal stress. By using light as an energy source, the driving energy can be applied without contact. It has an advantage of tolerance in an electromagnetic noise. The micro-disk is made of SUS304 whose diameter is 10 μm and thickness is 1011 m. The coriori force occurs at the micro disk when the rotational motion is applied to the micro disk in which the standing wave or the traveling wave has been generated. amplitude of micro-disk are measured, while the bending is caused on the micro disk. The deflection of micro disk varies in proportion to coriori force. The micro-gyro operated in using the bending of micro-disk senses angular rate.
- 2009-09-12
著者
-
辻 裕一
東京電大
-
辻 裕一
東京電機大学
-
辻 裕一
東電大工
-
辻 裕一
東電大・工
-
伊藤 来
東電大
-
伊藤 来
東電大・工
-
小林 奈保子
東電大
-
辻 裕一
東京電機大
-
辻 裕一
東京電機大学工学部
-
辻 裕一
東電大
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