S0405-1-5 先端の鋭い圧子を用いたナノインデンテーションによる基板上薄膜の機械的特性評価(セラミックス/セラミックス基礎合材料I)
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概要
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A novel method to evaluate the mechanical property of a thin film on a substrate is developed, in which nanoindentation with a point-sharp indenter is utilized. Numerical analysis on indentation behavior is carried out with the finite element method to derive the indentation parameters of a film from the indentation behavior, which is not affected by the deformation of a substrate. Using the indentation parameters, the mechanical properties, such as Young's modulus, yield strength and hardness, of the film can be evaluated.
- 2009-09-12
著者
-
赤津 隆
東京工業大学応用セラミックス研究所
-
若井 史博
東工大・応セラ研
-
若井 史博
名古屋工業技術研究所
-
若井 史博
新技術事業団セラミックス超塑性プロジェクト
-
赤津 隆
東工大・応セラ研
-
篠田 豊
東工大・応セラ研
-
犬塚 隼人
東工大・院
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