T0502-2-5 スプレーコーティングの流れ解析(マイクロ・ナノ領域におけるバイオ・熱流体の融合学術創成(2)マイクロ・ナノフルイズ)
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概要
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The flow in the spray coating for the three-dimensional photolithography is examined from the theoretical analysis and the experiment. The supposition that the gas flow around the three-dimensional sample gives the significant influence on the distribution of the deposited resist film is confirmed to some extent. The vortex generation and the side flow over the trench top surface give the consistent explanation about the resist bump at the vertical side wall, which is troublesome for the patterning.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2009-09-12
著者
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