21422 SOIを用いた熱膜式マイクロせん断応力センサの開発(MEMS,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
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概要
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It was developed micro shear stress sensor using Silicon On insulator (SOI). On the SOI chip, three rows which 30 thermal type micro sensor were installed. Within each array, the distance between the center of sensors is 300 μm. Each micro sensor consists of a 200 μm long, 20 μm wide, and 3 μm thick silicon resistor wire and a deep vacuum cavity from backside. The sensors are connected to the external constant current or constant temperature mode circuit.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2008-03-13
著者
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