20106 熱膜式マイクロせん断応力センサの開発(機械工学が支援するマイクロ流体技術,OS1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
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概要
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In late years, a group of minuteness sensor corresponding to this and minuteness sensors to clarify minuteness structure of a flow is demanded as miniaturization of a measurement device advances. I develop micro shear stress sensor that it aimed for the measurement and control of a flow of a heat fluid by this study. Based on silicon, I examine a production process of a metal film or semiconductor film of the minuteness sensors that assumed a resistance sensor. And made a prototype in this school clean room, I report the summary here.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-03-09
著者
-
木村 元昭
日本大学理工学部機械工学科
-
宮城 徳誠
日本大学院
-
木村 元昭
日本大学
-
田中 悠
日本大学
-
宮城 徳誠
日大短大
-
山口 龍之介
日大院
-
山口 龍之介
日本大学
-
岩澤 誠
日本大学
-
河野 海人
日本大学
-
宮城 徳誠
日本大学
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