21715 熱膜式マイクロせん断応力センサの開発 : SOIウェハを用いた製作プロセスについて(薄膜・計測,OS.12 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
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概要
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In late years, micro sensor array to clarify minuteness structure of a flow is demanded as miniaturization of a measurement device advances. We develop micro shear stress sensor that it is for the measurement and control of a flow by this study. Based on silicon, we examine that production process of using metal film or semiconductor film of the micro sensors array. And we made that SOI wefer used micro shear stress sensor prototype in our clean room. We report the summary here.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-03-15
著者
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