超音波振動導入チョクラルスキー法で引上げたIn_xGa_1-_xSb混晶中のボイド
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概要
著者
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高橋 克巳
石川島播磨重工業(株)技術研究所先端技術研究部
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高橋 克己
IHI 技研
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足立 聡
石川島播磨重工業(株)技術研究所航空宇宙開発部
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疋田 卓也
静大電研
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大槻 淳
静岡大電子研
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高橋 克己
石川島播磨重工業(株)技術研究所先端技術研究部
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高橋 克巳
石川島播磨重工業技術研究所
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高橋 克巳
石川島播磨重工業(株)
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