2.1 熱プラズマの非平衡性を利用するプロセスと高温を利用するプロセス(2.CVD,粒子合成への応用,熱流を伴う反応性プラズマを用いた材料合成プロセス)
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概要
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熱プラズマ中で起こる化学反応には熱平衡が成立すると考えられてきたが,パルス変調熱プラズマのように,熱プラズマの反応非平衡性や熱的非平衡性に注目した新しい材料プロセッシングの研究が行われている.また,熱プラズマの高温を利用する材料プロセッシングにおいても,インフライト溶融によるガラス製造に代表されるような新しい展開が見られる.本稿では,熱プラズマの非平衡効果と高温効果を利用した材料プロセッシングを紹介する.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2009-02-25
著者
-
渡辺 隆行
東京工業大学原子炉工学研究所
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渡辺 隆行
東京工大 大学院総合理工学研究科
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渡辺 隆行
東京工業大学大学院総合理工学研究科
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渡辺 隆行
東京工業大学
-
渡辺 隆行
東京工業大学総合理工学研究科化学環境学専攻
-
渡辺 隆行
東工大総理工
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