2.高周波誘導熟プラズマにおける物理・化学過程(<講座>熱プラズマの物理・化学過程とその応用II)
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概要
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Radio Frequency thermal plasmas offer a high-temperature source with free electrode contamination, and have a number of applications with chemical reactions. The distributions of the temperature, velocity and chemical species concentration have been calculated, however more sophisticated model with turbulence, non-LTE, or chemical reactions is indispensable to development of novel plasma processing.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1996-02-25
著者
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