21314 真空ポンプにおける振動特性の研究(振動(1))
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概要
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This paper describes a research of vibration characteristic in vacuum pump. The vacuum pump is used for manufacturing the semiconductor etc. When the vacuum pump stops, it influences the entire production line. Therefore, it is requested from the vacuum pump not to break down while operating The rigid motion and the bend vibration that increases the vibration at the same time as understanding the operating vibration characteristic are understood in this research. Moreover, the model to be able to confirm the problem in operation etc. When the operation condition and the design condition are changed is made. The model making makes from the vibration characteristic of an actual vacuum pump, and understands the change in the vibration characteristic by the change in the design condition at the same time.
- 2007-03-15
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