液晶ディスプレイパネル用レーザ結晶化ポリシリコン薄膜の移動度に対するプラズマ水素化の効果

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概要

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• 島根大学の論文
• 1998-12-24

著者

• 北原 邦紀

  島根大学総合理工学部

• 北原 邦紀

  島根大学総合理工学部電子制御システムエ学科

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