606 MEMSシミュレーションのためのCADベースGlobal-Localモデリング(OS-6B システムと解析,OS-6 次世代CAD/CAE)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2005-11-17

著者

• 高野 直樹

  立命館大

• 浅井 光輝

  立命館大学マイクロ機械システム工学科

• 植村 建

  立命館大院

• 植村 建

  立命館大[学]

• Marcal Pedro

  Mpact Corp.

• 高野 直樹

  慶大

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