20706 巨大カーボン粒子の生成と蒸着に関する研究(機械工学が支援する半導体製造技術(I),OS13 機械工学が支援する半導体薄膜製造技術)
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概要
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A laser opto-microactuator has been proposed as an Optical Micro-Electro-Mechanical-Systems (OMEMS). The rotational or twisting mechanisms of the micro actuator have been discussed. In the present paper experimental and numerical approaches have been carried out. For increasing the absorption rates of a laser beam on the blades of the micro actuator, carbon molecules were deposited from a heated carbon fiber to substrates in a vacuum deposition machine. The deposition rates were experimentally measured and are compared with the numerical results by DSMC.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2005-03-17
著者
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