C-323 真空蒸着されたレーザ光マイクロアクチュエータの熱流体特性
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概要
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A laser micro actuator, which uses the molecular gas dynamics effect, is proposed in this paper. The carbon film by vacuum evaporation is newly created, and it considers as a laser energy absorption film. In this research, the performance of a vacuum evaporation film and the performance of rotor using vacuum evaporation wings of actually performing vacuum evaporation are investigated. Then, a carbon film is created by vacuum evaporation as an energy absorption film replaced with carbon black powder. Numerical analysis using the DSMC method is performed and film thickness by vacuum evaporation is presumed.
- 日本流体力学会の論文
- 2003-07-28
著者
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