202 TiO_2/ITO薄膜の力学特性評価と残留応力測定に関する研究(薄膜の応力測定,残留応力の評価と強度,オーガナイスドセッション3,第53期学術講演会)

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概要

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• 社団法人日本材料学会の論文
• 2004-05-14

著者

• 巨 東英

  埼玉工業大学大学院

• 巨 東英

  埼玉工大

• 巨 東英

  埼玉工業大学・先端科学研究所

• 巨 東英

  埼玉工業大学 工学部

• 畑山 隆史

  埼玉工業大学院

• 有薗 卓矢

  埼玉工業大学

• 有薗 卓矢

  埼玉工大

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