106 PVD 法による Ti 薄膜の蒸着およびその特性評価

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概要

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• 社団法人日本材料学会の論文
• 2002-05-22

著者

• 巨 東英

  埼玉工大

• 植田 登美男

  埼玉工大院

• 畑山 隆史

  埼玉工大院

• 畑山 隆史

  埼玉工業大学院

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