3-3 変動電界を用いたLSI断線不良の診断(セッション3 LSIの故障解析-2)(日本信頼性学会第17回秋季信頼性シンポジウム報告)

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概要

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• 2005-01-01

著者

• 菊地 修司

  (株)日立製作所生産技術研究所

• 菊地 修司

  株式会社 日立製作所 生産技術研究所

• 小宮 泰麿

  株式会社 日立製作所 生産技術研究所

• 嶋瀬 朗

  株式会社 ルネサステクノロジ 生産本部

• 菊地 修司

  日立製作所

• 小宮 泰麿

  日立製作所

• 嶋瀬 朗

  ルネサステクノロジ

• 向州 一成

  ルネサステクノロジ

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