故障解析エキスパートシステムFLEXSの開発(<特集>故障の診断・解析評価・予測) : FLEXS : Fault Isolation Expert System
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概要
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LSIメモリーデバイスの故障解析の自動化を目指し開発された故障解析エキスパートシステム"FLEXS"について述べたものである。本システムでは、熟練解析エンジニアの知識ベースに基づき、テストから故障モードの分類、故障原因の推定までの処理を自動で行うと共に、製造工程中で得られる欠陥データと不良データとの照合処理を自動的に行うことが出来る。これにより、大量の故障解析を短時間で行うことができ、不良モード、原因の発生状況をウエハ上に存在する全不良を対象に詳細に明確化できる。
- 日本信頼性学会の論文
- 1996-02-10
著者
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