ECR Plasma CVD in Different Magnetic Field Configurations

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概要

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• 社団法人応用物理学会の論文
• 1992-05-15

著者

• 河合 良信

  九大総理工

• Komori Akio

  Department Of High Energy Engineering Science Kyushu University Kasuga

• Komori Akio

  Interdisciplinary Graduate School Of Engineering Sciences Kyushu University

• Kawai Yoshinobu

  Welding Research Institute Osaka University

• Komori A

  National Inst. Fusion Sciences Nagoya‐shi Jpn

• MURATA Masayoshi

  Nagasaki Research & Devepolment Center, Mitsubishi Heavy Industries Ltd.

• UCHIDA Satoshi

  Nagasaki Resarch & Development Center, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.

• KISHIMOTO Kengo

  Nagasaki Resarch & Development Center, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.

• TANAKA Masayoshi

  Nagasaki Resarch & Development Center, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.

• KOMORI Akio

  Nagasaki Resarch & Development Center, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.

• KAWAI Yoshinobu

  Nagasaki Resarch & Development Center, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.

• Kishimoto K

  Nec Corp. Kanagawa Jpn

• 河合 良信

  Kyushu Univ. Fukuoka

• Murata M

  Nagasaki Research & Devepolment Center Mitsubishi Heavy Industries Ltd.

• Murata Makoto

  Division Of Biological Sciences Graduate School Of Science Hokkaido University

• 小森 章夫

  核融合科学研究所

• Uchida S

  Nagasaki Resarch & Development Center Mitsubishi Heavy Industries Ltd.:(present Address) Nagasak

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