低温poly-Si製容量型指紋センサ
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概要
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低温poly-Si TFTを用いて容量型指紋センサを開発し、指紋認証試験を行い良好な結果を得た。センサ面積は20mmx15mmである。1センサーセルあたりに1つのトランジスタと1つのセンサープレートを用いる構造を取る。低温poly-Si TFTの閾値が大きいことを利用することで、選択したセル以外にリーク電流が流れるのを防ぎ、ダイナミックレンジを高めている。この方式により423dpi(60μmピッチ)という高解像度を実現した。
- 2001-03-16
著者
-
小川 哲也
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
岩田 明彦
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
岡本 達樹
三菱電機(株)
-
佐藤 行雄
三菱電機(株)
-
鈴木 昭弘
三菱電機(株)
-
岡本 達樹
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
佐藤 行雄
三菱電機先端技術総合研究所
-
井上 満夫
三菱電機先端技術総合研究所
-
井上 満夫
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
橋戸 隆一
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
-
橋戸 隆一
三菱電機(株)先端技術総合研究所
-
佐藤 行雄
三菱電機 先端技総研
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