PFCガス分解用高出力マグネトロン駆動用電源(スイッチングレギュレータ及び半導体電力変換, 一般)
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概要
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PFC(パーフルオロコンパウンド)ガス分解用の高出力マグネトロン駆動用電源を開発した。開発した電源(定格5kV, 1A)は, フルブリッジインバータと倍電圧整流回路で構成されている。まず非線形な負荷特性を持つマグネトロンの電流と電力について解析を行った。その結果, マグネトロン出力に線形化リアクトルを入れることにより, マグネトロンの電流と電力をパルス幅に対してほぼ線形に制御できることを示した。この解析を基に, 線形化リアクトルを持つマグネトロン駆動用電源を試作し, 3.5kWまでのマグネトロン出力を連続的に制御できることを実証した。
- 2005-05-06
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