AMLCD用ガラス基板の耐薬品性 : 特にフッ酸およびバッファードフッ酸による浸食について : 材料・部品および周辺技術関連 : 情報ディスプレイ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
AMLCD用無アルカリガラス基板の耐薬品性を塩酸、硫酸、硝酸、フッ酸、バッファードフッ酸(BHF)および水酸化ナトリウムの各薬液を用いて調べた。ガラス基板はBHF処理後にくもりを生じることがあり、これは微小な突起によることが顕微鏡観察によりわかった。突起の発生防止に有効なBHFの組成、ならびにガラス基板の洗浄条件等が明らかになった。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1993-07-26
著者
-
山本 茂
日本電気硝子(株)
-
小野田 卓弘
日本電気硝子(株)
-
石田 彰一
森田化学工業株式会社
-
宮本 光雄
森田化学工業株式会社
-
三和 晋吉
日本電気硝子(株)
-
北 直英
森田化学工業株式会社
-
北 直英
森田化学工業半導体薬品事業部管理課
-
三和 晋吉
日本電気硝子
-
石田 彰一
森田化学工業株式会社:東北大学電気通信研究所超高密度・高速知能システム実験施設
-
山本 茂
日本電気硝子
関連論文
- 構造緩和によるβ-スポジュメン固溶体結晶化ガラスの体積変化
- 大型液晶ディスプ***ロジェクトが切り開く未来(総合報告)
- 進化するガラス : 高機能ガラスと溶融技術革新
- 宇宙用カバーガラスと熱制御用ミラーの開発
- 低膨張結晶化ガラスで被覆したシリカガラス光ファイバーの機械的及び光学特性
- バッファードフッ酸によるエピタキシャルSi_Ge_xC_y膜のエッチング特性
- バッファードフッ酸によるエピタキシャルSi_Ge_XC_y膜のエッチング特性
- ホットバキューム法による多成分ガラスフォトニッククリスタルロッドの作製
- ドライエッチング後の微細コンタクトホール内の洗浄技術
- ドライエッチング後の微細コンタクトホール内の洗浄技術
- Si(100)表面の水素終端化に及ぼすBHF処理の影響
- 液晶ディスプレイ用ガラス基板
- バッファードフッ酸によるエピタキシャルSi_Ge_xC_y膜のエッチング特性
- 5)AMLCD用ガラス基板の耐薬品性 : 特にフッ酸およびバッファードフッ酸による浸食について(情報ディスプレイ研究会)
- AMLCD用ガラス基板の耐薬品性 : 特にフッ酸およびバッファードフッ酸による浸食について : 材料・部品および周辺技術関連 : 情報ディスプレイ
- AMLCD用ガラス基板の耐薬品性 : 特にフッ酸およびバッファードフッ酸による浸食について
- フラットパネルディスプレイ用ガラス (特集 ディスプレイを支えるキーマテリアル)
- 液晶ディスプレイ用ガラス基板材料 (液晶ディスプレイ技術1996年--構成部品・材料から製造プロセスまで) -- (液晶ディスプレイ用部品・材料編)
- 界面活性剤添加バッファードフッ酸によるシリコンウエハ表面のマイクロラフネス防止効果
- フラットパネルディスプレイ用ガラス (特集 ディスプレイ用ガラス・セラミック材料の進展)