界面活性剤添加バッファードフッ酸によるシリコンウエハ表面のマイクロラフネス防止効果

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概要

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バッファードフッ酸中でのシリコンウエハ表面のマイクロラフネスの発生を数十ppmオーダの界面活性剤の添加により防止できることを明らかにした。マイクロラフネスの抑制効果は50ppmの添加量で充分であり、通常のプロセスにもそのまま適用できることが判った。界面活性剤の添加によるシリコンウエハ表面のマイクロラフネスの抑制は界面活性剤がシリコンの溶解を抑制している為で、バッファードフッ酸中のNH_4F濃度を下げることによってもマイクロラフネスを抑制できることが判った。さらに、通常のバッファードフッ酸中のNH_4F濃度を下げた場合の各種シリコン酸化膜のエッチング特性を明らかにした。
社団法人電子情報通信学会の論文
1993-04-22

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