Co-Cr蒸着膜の磁気特性および結晶配向性に及ぼす初期層の影響 : 記録媒体・磁気ヘッド : 画像情報記録
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概要
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Co-Cr膜を連続真空蒸着法で形成する際に、高入射角で薄い初期層を形成し、引き続いて低入射角で比較的厚い膜を形成した。このようにして形成されたCo-Cr膜は、高入射角で形成したCo-Cr膜と同様の磁気異方性を示した。膜の結晶配向性を調べた結果、低入射角のみで形成したCo-Cr膜においては、c軸がほぼ膜法線方向に配向しているが、高入射角で形成された初期層を有するCo-Cr膜においては、c軸が膜法線から大きく傾斜していることがわかった。初期層目身の結晶配同性は確認できなかったが、初期層上でCo-Cr膜がエピタキシャル成長したものと考えられる。
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 1993-02-25
著者
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