Co-O斜方蒸着膜におけるCoO下地層の効果

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概要

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斜方蒸着法で作製したCo-O膜におけるCoO下地層の効果について、磁気特性の評価および膜の微視的構造の観察から調べた。CoO下地層はCo-O膜の保磁力を増大させる効果があった。CoO下地層を有するCo-O膜は、斜めに成長した柱状粒子の方向に沿って強い一軸異方性を示した。この異方性は、Co-O膜におけるhcp-Coの結晶配向性の改善が要因である。また、CoO下地層上では、自己陰影効果により、柱状粒子の空間的分離が促進される。この柱状粒子の空間的分離は、高保磁力発生の一つの要因と考えられる。さらに、一回の基板走行で、下地層と磁性層とを同時に形成する方法を検討した。この方法においては、高温に保持した再蒸発板を用いて下地層を形成し、引き続いて、蒸発源からの原子で磁性層を形成する。
社団法人電子情報通信学会の論文
1997-01-23

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