マスターパターン形状が磁気転写特性に及ぼす影響
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概要
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A master pattern with the a line-and-space (L/S) part and a checker part in the servo signals was made by using an FeCo film, and the edge printing characteristics of both parts were compared. The MFM output in the checker part was equal to the L/S part for a bit length of 200 nm, while for a bit length of 100 nm, the MFM output in the checker part decreased by about 30% compared with that in the L/S part, because of the MFM’s low resolution. However, for a bit length of 100 nm, simulation results showed that the edge-printed magnetization of the checker part was equal to that of the L/S part. When the TMR head reproduced both parts, the output in the checker part was equal to that in the L/S part. The optimum printing field for the checker part was the same as that for the L/S part. Moreover, the rate of decrease in the MFM output did not depend on the printing field.
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