イオンビームアシストで作製されたDLC薄膜の摩擦・摩耗特性(<特集>「トライボロジー」)
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概要
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ステンレス鋼基板上にイオンビームアシスト法で作製されたダイヤモンド状炭素(DLC)薄膜の機械的特性を調べた.イオンビームアシストは, エチレン雰囲気中で不活性イオンビーム照射を行う方法である.本研究では, He^+イオンビームのエネルギーを5-18keV, 照射電流密度は10-100μA/cm^2の範囲で変化した.薄膜の深さ方向の組成と構造は, X線光電子分光法とラマン分光法で測定した.硬さと摩擦係数の測定は微小硬度計によるヌープ硬さとピン・オン・ディスク型の摩擦摩耗試験から判断し, 機械特性に対する最適な条件を求めた.
- 2005-10-14
著者
-
中村 勲
東海大学電子情報学部
-
鷹野 一朗
工学院大学電気工学科
-
佐々木 道子
理化学研究所先端技術開発支援センター
-
鷹野 一朗
工学院大
-
鷹野 一朗
工学院大学
-
鷹野 一朗
工学院大学工学部
-
足立 真宏
工学院大学工学部
-
鷹野 一朗
工学院大学 電気工学科
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