Ti系薄膜の摩擦・磨耗特性における真空圧力及び雰囲気ガス種依存症
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概要
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- 2002-05-20
著者
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中村 勲
東海大学電子情報学部
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中村 勲
工学院大学工学部
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佐々木 道子
工学院大学大学院電気・電子工学専攻
-
鷹野 一朗
工学院大学電気工学科
-
沢田 芳夫
工学院大学電気工学科
-
佐々木 道子
理化学研究所先端技術開発支援センター
-
鷹野 一朗
工学院大学
-
澤田 芳夫
工学院大学 工学部 電気工学科
-
沢田 芳夫
工学院大学工学部電気工学科
-
鷹野 一朗
工学院大学 電気工学科
-
沢田 芳夫
工学院大学
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