イオンビームアシスト法によりセラミック上に形成された金属薄膜の耐摩耗性
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概要
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セラミクスと金属膜の接合は組成の傾斜を利用した傾斜機能材料などで行われている. 本研究では10keVのエネルギーを持つAr^+イオンビームを用い, 金属 (Mo) とセラミクス (SiC) 界面にノックオン効果によるミキシング層, すなわち組成傾斜領域を形成した. 形成試料について摩擦摩耗試験を行ったところ, イオンビームアシストを行った試料は耐摩耗性が向上した. アシスト法によるミキシング層は通常考えられている傾斜領域に比べ非常に狭いものであるが, セラミクスに対しても充分耐摩耗性を向上させることができた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-10-17
著者
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