イオンビームスパッタ法における反跳アルゴンとスパッタ粒子の鉄薄膜特性に及ぼす影響
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概要
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鉄は磁性体の中でも大きな飽和磁化を持ち、その優れた磁気特性から鉄をベースにした合金膜が磁気ヘッド材料として非常に注目され、対向ターゲット式等の各種スバッタ法にて研究されてきた。しかしながら、その結晶構造や、磁気特性は、作製条件やスパッタ法に大きく依存している。その要因として、プラズマによる基板衝撃や基板温度の上昇等が考えられてきたが、十分な解釈はなされていなかった。特に、スバッタ現象を利用した成膜においては、スバッタ粒子とターゲット表面で反射する反跳アルゴンがその膜構造に重要な役割を果たすと考えられる。そこで、本研究では、スバッタ粒子と反跳アルゴンのエネルギーと量をモンテカルロシュミュレーション(TRIM)にて、計算し、それと、プラズマの影響の少ないイオンビームスパッタ法を用いて作製された鉄薄膜におけるその結晶構造と磁気特性を測定し、それらの関係を明確にした。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-09-18
著者
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