さざ波顕微鏡と材料表面物性の定量的測定(II) : 解析
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概要
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近年、先端技術の発展に伴いデバイスの小型化が進んだ。特に、電気・磁気・光学デバイスは薄膜化、ミクロ化、集積化されることが多い。そのために、素材のバルク本来の性質だけではなく、薄膜或いは表面に特有な性質を考慮することが必要となってきた。このため、薄膜や表面・界面の物性を定量的に評価する新しい計測手法の開発が強く望まれている。我々は新しい表面・界面分析法の一つとしてさざ波顕微鏡を提案し表面・界面の物性の評価へ応用してきた。さざ波顕微鏡を用いて、多層超薄膜、電極/溶液界面における熱的、弾性的な物性を定量的に測定した結果と理論的な解析結果について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
-
原田 明
九大院総理工
-
原田 明
東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻
-
原田 明
九州大学大学院総合理工学研究院
-
Harata Akira
Department Of Molecular And Material Sciences Kyushu University
-
Harata Akira
Department Of Industrial Chemistry Faculty Of Engineering The University Of Tokyo
-
Harata Akira
Department Of Industrial Chemistry Faculty Of Engineering University Of Tokyo
-
原田 明
九大 大学院
-
沈 青
東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻
-
津田 嗣郎
東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻
-
沈 青
東京大学大学院・工学系研究科・応用化学専攻
-
原田 明
九州大学大学院総合理工学府物質理工学専攻
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