H2 レーザー誘起GHz表面波のイオン打ち込みDLC(Diamond-Like-Carbon)薄膜評価への応用(光音響技術)
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概要
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- 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム運営委員会の論文
- 1993-12-07
著者
-
Harata Akira
Department Of Molecular And Material Sciences Kyushu University
-
Harata Akira
Department Of Industrial Chemistry Faculty Of Engineering The University Of Tokyo
-
Harata Akira
Department Of Industrial Chemistry Faculty Of Engineering University Of Tokyo
-
澤田 嗣郎
科学技術振興機構
-
沈 青
東京大学大学院・工学系研究科・応用化学専攻
-
沈 青
東大・工
-
原田 明
東大・工
-
澤田 嗣郎
東大・工
-
原田 明
九州大学大学院総合理工学府物質理工学専攻
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