Application of Laser-Induced GHz Surface Acoustic Waves to Evaluate Ion-Implanted Semiconductors : Ultrasonic Measurement
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1992-05-31
著者
-
Harata Akira
Department Of Molecular And Material Sciences Kyushu University
-
Harata Akira
Department Of Industrial Chemistry Faculty Of Engineering The University Of Tokyo
-
Harata Akira
Department Of Industrial Chemistry Faculty Of Engineering University Of Tokyo
-
NISHIMURA Hiroyuki
Departmetnt of Biomedical Engineering, Faculty of Engineering, Toin University of Yokohama
-
SAWADA Tsuguo
Department of Applied Chemistry, Graduate School of Engineering The University of Tokyo
-
原田 明
九州大学大学院総合理工学府物質理工学専攻
-
Nishimura H
Department Of Applied Physics Osaka City University
-
Nishimura H
Kansai Univ. Osaka Jpn
-
Sawada Tsuguo
Department F Industrial Chemistry Faculty Of Engineering The University Of Tokyo
-
Nishimura Hiroyuki
Department Of Bio Science And Technology School Of Engineering Hokkaido Tokai University
-
Harata Akira
Department of Applied Chemistry, Faculty of Engineering, The University of Tokyo,
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