3次元 MMIC 技術による Si MMIC の高周波化
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概要
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来たるべきマルチメディア社会の実現に向けて小型・高集積な高機能MMICが求められている. また, PHSや携帯電話に代表されるパーソナルユースの無線機器には「低価格」が重要なキーワードとなる. このような背景の下にMMICの低コスト化が強く求められており, 低価格性に優れるSi MMICに注目が集まっている. 本稿では, 3次元MMIC技術によりSi MMICの大幅な高周波化が実現できることを示し, 本技術によってこれまでGaAsの独壇上であった周波数帯域においても低コストなSi MMICが利用できることを示す.
- 1997-08-13
著者
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