櫛形間隙を有するストリップ線路におけるマイクロ波の光制御
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概要
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半導体プラズマを利用した光制御マイクロ波位相器の一つとして, 筆者らは半導体基板マイクロス卜リップ線路上に櫛形間隙を設けた構造の線路を提案した。この線路は、光照射時のマイクロ波の振幅変化を抑圧し, 位相変化のみを効率よく抽出できる点で優れている. 本稿では, フォトレジストにより作成した精密な櫛形間隙を用いて, 線路の散乱特性とパルス変調された光に対するデバイスの応答時間について報告する.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-08-13
著者
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