非線形誘電率顕微鏡に関する基礎的検討
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概要
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近年,機能性材料として種々の強誘電性単結晶やセラミックスが開発され,また最近ではその薄膜化の研究も大きな進歩を遂げ,一部次世代の超高密度メモリーへの応用も開始されている.このような材料の永久分極の分布の計測は非常に重要と考えられるが,超音波顕微鏡やトンネル音響顕微鏡による評価法が報告されている程度で,あまり多くの研究報告はないようである.一方著者らは,近年強誘電材料をその非線形特性から評価しており,その結果,線形誘電率(2階のテンソル量)は材料の永久分極の状態や結晶性にあまり大きく依存しないが,非線形誘電率(3階のテンソル量)は極端に大きく依存する事を見いだした.今回この原理を応用した顕微鏡システムを試作し,その動作の基本特性を調べたので以下報告する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
-
桐原 昭雄
電気工学科
-
桐原 昭雄
山口大学工学部
-
桐原 昭雄
山口大工
-
長 康雄
山口大学工学部
-
長 康雄
山口大 工
-
佐伯 考央
山口大工
-
桐原 昭雄
山口大学工学部電気電子工学科
-
佐伯 考央
山口大学工学部電気電子工学科
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