薄いBSCCO厚膜の作製とそのマイクロ波応用
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概要
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本研究の目的は,BSCCO厚膜の高周波回路応用である.最初に,溶融法によって多結晶MgO基板上にBSCCO厚膜(2212相)を作製した.しかし,その厚膜は100〜200μm程度と厚すぎたために精度の高いエッチングができなかった.そこで,グリセリンと原料粉末の混合溶液をスピン・コーティングによって基板上に薄く塗り,厚膜の薄膜化を行った.その結果,5〜30μm程度の薄いBSCCO厚膜が得られた.次に,TE_011>モード誘電体円柱共振器法を用いて作製した厚膜の10.3GHz付近での表面インピーダンスを測定した.最後に,高周波回路の基本となる線路と共振器の試作をコプレーナ型で行った.
- 1994-04-20
著者
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