LaAlO_3 基盤MDO法 YBCO薄膜の作製とλ/4 CPW SIR BPF の試作
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概要
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非真空プロセスで低コストかつ大面積の膜作製が可能とされている金属TFA(Trifluoroacetate)塩を前駆体としたMOD(Metalorganic Deposition)法を用いて(001)LaAlO_3基板上にYBCO薄膜の作製を行い,そのマイクロ波表面抵抗を測定した.作製したYBCO膜は臨界温度(90K)近傍から急激な遷移域を持つ超伝導性を示し,その表面抵抗は0.17mΩ(9.98GHz,30K)と気相法による膜の表面抵抗値に匹敵する値を得た.作製したYBCO薄膜上に、基板の片面のみで回路が作製可能な小型帯域通過フィルタであるλ/4 CPW SIR BPFを試作し,中心周波数5.774GHz,帯域125MHz,挿入損失1.08dBの2段帯域通過フィルタを実現した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-04-10
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